Material de fabricación de semiconductores octafluoropropano

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Descripción

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Modelo: Octafluoropropane

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Lugar de origen: PORCELANA

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Unidades de venta:: Bag/Bags

Introducción del producto

El octafluoropropano (C3F8) es un tipo de gas inerte incoloro, inodoro y no inflamable. Su punto de fusión es 183.0 ℃, el punto de ebullición es 36.7 ℃, mal soluble en agua. El octafluoropropano de grado electrónico se usa en materiales semiconductores y fabricación de dispositivos de semiconductores. La mezcla de octafluoropropano y oxígeno se usa como material de grabado en plasma, que puede interactuar selectivamente con la matriz metálica de la oblea de silicio.

Especificación de calidad

项目 Items	单位 Unit	指标 Indexs
C3F8	Vol.%	≥99.999	≥99.9995
O2+Ar	Vol.ppm	＜1	＜0.5
N2	Vol.ppm	＜5	＜1
CO	Vol.ppm	＜0.5	＜0.5
CO2	Vol.ppm	＜0.5	＜0.5
CF4	Vol.ppm	＜0.5	＜0.5
C2F6	Vol.ppm	＜0.5	＜0.5
CH4	Vol.ppm	＜1	＜1
H2O	Vol.ppm	＜1	＜1
酸度Acidity (Mesured by HF)	Wt. ppm	＜0.1	＜0.1
总杂质含量 Total impurity content	Mol.ppm	≤10	≤5

Solicitud

En la industria de semiconductores, el octafluoropropano se usa como materiales de grabado en plasma; En medicina, el octafluoropropano se puede usar como agente de relleno y contraste después de la cirugía vitreorretinal. El octafluoropropano también se usa como ingrediente en las mezclas de refrigeración.

Embalaje y almacenamiento

El octafluoropropano se llena en cilindros limpios y secos sin costuras con un tratamiento especial. Los volúmenes de cilindros son 4L, 8L, 10L, 12.5L y 40L, etc. Las especificaciones de empaque se pueden personalizar de acuerdo con los requisitos de los clientes.

PRODUCTOS POR GRUPO : Materiales de proceso de semiconductores > Materiales de proceso de semiconductores de octafluoropropano

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