Materiales de grabado para circuitos electrónicos perfluorobutadieneno

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Descripción

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Modelo: Perfluorobutadiene

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Lugar de origen: PORCELANA

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Unidades de venta:: Ton

Introducción del producto

El perfluorobutadieno (C4F6) es un tipo de gas incoloro, inodoro e insoluble en agua. Su punto de fusión es 132.0 ℃, el punto de ebullición es 5.9 ℃. El perfluorobutadieno es una especie de olefinas conjugadas que contiene seis átomos de fluorino y dos enlaces de carbono-carbono, como una especie de gas de grabado excelente, debido a su relación f/c única, el perfluorobutadieno tiene una mayor selectividad de grabado, precisión y relación de aspecto que las de El gas de grabado de fluorocarbono saturado perfluorado tradicional, el perfluorobutadieno puede grabar menos de 100 nm de circuito electrónico más estrecho. Además, C4F6 tiene una relación selectiva más alta de fotorresistentes y nitruro de silicio que la de C4F8, lo que puede mejorar la estabilidad de grabado, la tasa de grabado y la uniformidad, y así mejorar la calidad del producto.

Especificación de calidad

Items	Unit	Index
C4F6	Vol.%	≥99.99
N2	Vol.ppm	≤10
O2+Ar	Vol.ppm	≤2
H2O	Vol.ppm	≤3
CO2	Vol.ppm	≤10
CO	Vol.ppm	≤3
Isopropanol	Vol.ppm	≤5
Other fluorocarbon	Vol.ppm	≤70
（Measured by HF）	Wt.ppm	≤2

Solicitud

Utilizado como gas de grabado para el grabado en plasma de productos semiconductores.

Embalaje y almacenamiento

El perfluorobutadieno se llena en cilindros de acero con el modelo de B10, tamaño de 14 cm × 83 cm, volumen interno de 10.1L, peso bruto de 14.7 kg, carga útil de 10 kg. Las especificaciones de embalaje se pueden personalizar de acuerdo con los requisitos de los clientes.

PRODUCTOS POR GRUPO : Materiales de proceso de semiconductores > Materiales de proceso de semiconductores de perfluorobutadieneno

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