Hexafluoroetano de baja calidad

$9999

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Ton

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Modelo: Hexafluoroethane

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Unidades de venta:: Ton

El hexafluoroetano (C2F6), también conocido como perfluoroetano, es una especie de gas inerte incoloro, inodoro y no inflamable. Su punto de fusión es de 100.6 ℃, el punto de ebullición es 78.2 ℃, ligeramente soluble en agua. Debido a su estabilidad no tóxica, inodoro y alta, el hexafluoroetano se usa ampliamente en el proceso de fabricación de semiconductores. El hexafluoroetano, como grabado seco, tiene las ventajas del grabado muy pequeño en el lado del borde, la alta tasa de grabado y la alta precisión, que pueden cumplir con los requisitos del proceso de fabricación de semiconductores para un pequeño ancho de línea.

Especificación de calidad de hexafluoroetano :

Items	单位 Unit	Indexs
C2F6	Vol.%	≥99.999
O2+Ar	Vol.ppm	＜1
N2	Vol.ppm	＜5
CO	Vol.ppm	＜0.5
CO2	Vol.ppm	＜0.5
H2	Vol.ppm	＜0.5
Halohydrocarbon	Vol.ppm	＜5
CH4	Vol.ppm	＜1
H2O	Vol.ppm	＜2
Acidity（Measured by HF）	Wt. ppm	＜0.1
Total impurity content	Mol.ppm	≤10

Solicitud:

El hexafluoroetano de grado electrónico se utiliza principalmente en el proceso de fabricación de materiales semiconductores y dispositivos semiconductores como agente de grabado y agente de limpieza, así como gas aislamiento y refrigerante de alta resistencia dieléctrica.

Embalaje y almacenamiento:
El hexafluoroetano se llena en cilindros sin costuras limpios y secos con un tratamiento especial. Los volúmenes de cilindros son 4L, 8L, 10L, 12.5L y 40L, etc. Las especificaciones de empaque se pueden personalizar de acuerdo con los requisitos de los clientes.

PRODUCTOS POR GRUPO : Materiales de proceso de semiconductores > Materiales de proceso de semiconductores de hexafluoroetano

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