El hexafluoroetano (C 2 F 6 ), también conocido como perfluoroetano, es una especie de gas inerte incoloro, inodoro y no inflamable. Su punto de fusión es de 100.6 ℃, el punto de ebullición es 78.2 ℃, ligeramente soluble en agua. Debido a su estabilidad no tóxica, inodoro y alta, el hexafluoroetano se usa ampliamente en el proceso de fabricación de semiconductores. El hexafluoroetano, como grabado seco, tiene las ventajas del grabado muy pequeño en el lado del borde, la alta tasa de grabado y la alta precisión, que pueden cumplir con los requisitos del proceso de fabricación de semiconductores para un pequeño ancho de línea.
Especificación de calidad
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Items
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Unit
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Indexs
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C2F6
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Vol.%
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≥99.999
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O2+Ar
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Vol.ppm
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＜1
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N2
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Vol.ppm
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＜5
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CO
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Vol.ppm
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＜0.5
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CO2
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Vol.ppm
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＜0.5
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H2
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Vol.ppm
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＜0.5
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Halohydrocarbon
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Vol.ppm
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＜5
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CH4
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Vol.ppm
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＜1
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H2O
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Vol.ppm
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＜2
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Acidity（Measured by HF）
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Wt.ppm
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＜0.1
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Total impurity content
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Mol.ppm
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≤10
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Solicitud
El hexafluoroetano de grado electrónico se utiliza principalmente en el proceso de fabricación de materiales semiconductores y dispositivos semiconductores como agente de grabado y agente de limpieza, así como gas aislamiento y refrigerante de alta resistencia dieléctrica.
Embalaje y almacenamiento
El hexafluoroetano se llena en cilindros sin costuras limpios y secos con un tratamiento especial. Los volúmenes de cilindros son 4L, 8L, 10L, 12.5L y 40L, etc. Las especificaciones de empaque se pueden personalizar de acuerdo con los requisitos de los clientes.
Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd. es una empresa de alta tecnología invertida y establecida por Shandong Zhongshan Group Co., Ltd., que integra I + D, pruebas piloto e industrialización. Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd. tiene un equipo de investigación y desarrollo de 200 personas, principalmente incluyendo profesores, investigadores, postdocs, médicos, maestros y estudiantes universitarios. La compañía ha logrado una serie de logros tecnológicos innovadores después de varios años de desarrollo. Se han aplicado más de 50 patentes, y 30 patentes para la invención han sido autorizadas en los últimos 3 años.
La compañía construye una plataforma piloto de I + D de 5,000m2, que incluye una serie de instalaciones de soporte completas y una función avanzada de dispositivos de prueba y piloto, como gases fluorinos altos puros, materiales de carbono fluorados funcionales especiales, materiales semiconductores (altos productos químicos electrónicos puros/ productos químicos electrónicos) , batería de energía alta específica, electrolitos y aditivos de batería de litio, batería térmica y materiales relacionados, materiales fotoeléctricos, isótopos estables y sus materiales derivados, materiales biomédicos fluorados, etc. La compañía puede llevar a cabo una serie de pruebas innovadoras de investigación y desarrollo y piloto para Áreas relacionadas de nuevos materiales y equipos. La Compañía ha establecido un Centro de análisis y pruebas avanzados para la I + D y la producción de todos los proyectos.
Al mismo tiempo, la compañía ha construido la primera línea de producción a gran escala de laboratorio de evaluación de rendimiento de material de fluorocarbono y fluorocarbono funcional en todo el mundo, y se ha convertido en el único fabricante que puede producir y suministrar fluorografeno de alta calidad en el hogar y en el extranjero hasta ahora.
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